真空等離子產生原理：
通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質，從而優化材料表面性能，實現清潔、改性、刻蝕等目的。
真空等離子清洗機的用途：
①汽車行業：汽車內外飾、汽車電子，去除表面有機污染物，提高表面親水性，提升粘貼質量；
②半導體行業：金屬鍵合前處理、塑封前處理、底部填充前處理以及光刻膠去除等；
③3c行業：PCB板孔底及孔壁表面處理，FPC表面清洗；
④攝像頭模組：DB前處理、WB前處理、封裝前處理，增強封裝的貼合度。
真空等離子清洗機的優勢：
1、超低處理溫度：真空腔體經由真空度檢漏測試，處理溫度低于45℃，可滿足不同場合溫度要求，不對清洗產品造成溫度影響；
2、多路氣體控制：高精度氣體流量監測系統，針對不同的產品，通入不同反應氣體，雙路或多路工藝氣體全方位均勻清洗；
3、高效率處理：單次可處理多片/批次材料；
4、使用成本低：可定制流水線，全自動工作，減少人力成本，低氣體用，穩定性強，降低使用成本；
5、可以處理復雜的產品，可進行360°全方位的處理。
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