久久久青青草-久久久人人人婷婷色东京热-久久久日韩精品一区二区-久久久日韩精品一区二区三区-久久久视频在线-久久久受www免费人成

東莞市晟鼎精密儀器有限公司

首頁 > 最新資訊 > 行業資訊 > 晟鼎RTP快速退火爐如何打造理想歐姆接觸

晟鼎RTP快速退火爐如何打造理想歐姆接觸

在半導體器件的制造中,歐姆接觸是實現高性能電路的核心技術之一。

 

RTP技術能夠有效修復晶格損傷,提供更加穩定、均勻的歐姆接觸,確保器件的穩定性和可靠性。

 

一、氮化鎵(GaN)歐姆接觸

氮化鎵(GaN)材料因其寬禁帶和高擊穿場強的特性,在功率電子和射頻器件中備受關注,但其歐姆接觸的形成極具挑戰:

1.高勢壘問題

GaN的寬禁帶性導致金屬與半導體界面存在高勢壘,傳統退火工藝無法有效降低接觸電阻

2.金屬選擇局限

傳統金屬(如Ti/Al/Ni/Au)需通過退火觸發化學反應,形成低勢壘合金(如TiN、AlGaN等)

3.熱敏感性與工藝失衡

GaN在高溫下易分解,而低溫又無法激活金屬/GaN界面反應

 

良好的歐姆接觸圖形邊緣應保持平整,電極之間不應存在導致短路的金屬粘合,退火完成后不會出現金屬的側流。

(左)退火前歐姆接觸形態 (右)退火后歐姆接觸形態 

*(左)退火前歐姆接觸形態 (右)退火后歐姆接觸形態(圖源網絡,侵刪)

 

在對GaN歐姆接觸進行退火處理時,退火溫度的控制尤為重要,溫度精準度差會導致電阻率的增加以及電流的減小。

比接觸電阻率與退火溫度的函數關系 

*比接觸電阻率與退火溫度的函數關系(圖源:知網,侵刪)

其中,退火溫度過高可能導致氮化鎵材料的損傷或金屬電極的熔化;溫度過低時會導致金屬與半導體之間形成較高的勢壘,阻礙載流子的傳輸。

 

二、晟鼎RTP快速退火爐優勢

針對制成GaN歐姆接觸的難點,晟鼎RTP快速退火爐提供以下解決方案:

1.精準的溫度-時間控制:

滿足GaN的熱敏感性,可減少金屬層在高溫下的擴散時長,抑制界面過度反應

2.強大的溫場管理系統:

良好的溫度重現性與溫度均勻性,避免接觸電阻分布不均

3.熱預算低,升溫速率快:

升溫速率可達150℃/s,制程范圍覆蓋200-1250℃,有效節省工藝時間和熱預算成本

4.動態氣體調控:

晟鼎RTP快速退火爐最多可配置6組工藝氣體,實現退火腔室內氣體的快速切換,確保退火處理的穩定性

快速退火爐 


相關資訊
友情鏈接:
Copyright ? 2024 東莞市晟鼎精密儀器有限公司 | 粵ICP備13017174號
Copyright ? 2024 東莞市晟鼎精密儀器有限公司 | 粵ICP備13017174號 |
友情鏈接: 晟鼎精密 達因特 晟鼎等離子 網站地圖
1024在线视频国产在线播放 | a国产成人免费视频 | 日韩一欧美内射在线观看 | 亚洲成a人片在线观看天堂无码 | 公与淑婷厨房猛烈进出 | 少妇久久久久久被弄到高潮 | 久久久久久成人毛片免费看 | 中国浓毛少妇毛茸茸 | 亚洲精品乱码久久久久久蜜桃不卡 | 无码毛片视频一区二区本码 | 人妻少妇不满足中文字幕 | 国产一区二区三区日韩精品 | 亚洲gay片在线gv网站 | 成人无码www免费视频 | 天堂√在线中文官网在线 | 亚洲色偷偷色噜噜狠狠99 | 伊人色综合九久久天天蜜桃 | 国产精品视频免费播放 | 偷偷色噜狠狠狠狠的777米奇 | 精品久久久久久无码中文字幕一区 | 国产农村妇女毛片精品久久 | 日韩精品真人荷官无码 | 激情内射日本一区二区三区 | 男人的天堂av网站 | 国产激情艳情在线看视频 | 国产美女视频一区二区三区 | 丰满人妻一区二区三区视频53 | 乌克兰少妇xxxx做受 | 成人影视在线观看 | 无码人妻av一二区二区三区 | 国产精品毛片av999999 | 99久久精彩视频 | 久久久久亚洲av无码a片 | 538prom国产在线视频一区 | 国产精品99精品无码视亚 | 免费无码又爽又刺激软件下载直播 | 久久久久亚洲av无码专区体验 | 亚洲欧美日韩国产成人精品影院 | 亚洲av永久无码天堂网毛片 | 欧美xxxx黑人又粗又长 | 午夜天堂精品久久久久 |