產(chǎn)品特點:
紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷;
燈管功率 PID 控溫,可精準(zhǔn)控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性;
采用平行氣路進(jìn)氣方式,氣體的進(jìn)入口設(shè)置在 WAFER表面,避免退火過程中冷點產(chǎn)生,保證產(chǎn)品良好的溫度均勻性;
大氣與真空處理方式均可選擇,進(jìn)氣前氣體凈化處理;
標(biāo)配兩組工藝氣體;
晟鼎半導(dǎo)體是晟鼎股份旗下分公司,總部晟鼎股份成立于2012年,是一家集研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的國家級高新技術(shù)企業(yè),致力于為廣大客戶提供表面性能處理以及檢測整體解決方案。研發(fā)團(tuán)隊成員以多年從事工業(yè)自動化等領(lǐng)域的博士、碩士和學(xué)士為主,本科學(xué)歷以上占比50%。
核心產(chǎn)品有RTP快速退火爐、等離子去膠機(jī)、微波等離子清洗機(jī)、大氣等離子清洗機(jī)、寬幅等離子清洗機(jī)、真空等離子清洗機(jī)、接觸角測量儀、USC干式超聲波除塵清洗機(jī)、離子除靜電裝置等,目前已大批量用于半導(dǎo)體制造、3C消費(fèi)電子、新能源、顯示等行業(yè),獲得了全球知名制造商的高度認(rèn)可...