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東莞市晟鼎精密儀器有限公司

行業案例
致力于為全球用戶提供等離子表面處理與檢測整體解決方案
產品系列
致力于為全球用戶提供等離子表面處理與檢測整體解決方案
半導體快速退火爐
桌面型半導體快速退火爐

產品特點:

紅外鹵素燈管加熱,冷卻采用風冷;

燈管功率 PID 控溫,可精準控制溫度升溫,保證良好的重現性與溫度均勻性;

采用平行氣路進氣方式,氣體的進入口設置在 WAFER表面,避免退火過程中冷點產生,保證產品良好的溫度均勻性;

大氣與真空處理方式均可選擇,進氣前氣體凈化處理;

標配兩組工藝氣體;

微波等離子清洗機
微波等離子清洗機

簡介:

針對半導體芯片粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、金屬鍵和前處理。


八大優勢:

等離子體不帶電,不會對電路造成損害 ▏處理過程保持較低溫度  

反應速度快,反應時間短 ▏無電極,無污染源,長壽命

能在高氣壓下維持等離子體 ▏ 微波結和磁路可以兼容

自偏壓要求低 ▏高壓源和發生器互相隔離,安全


等離子去膠機
ICP干法等離子去膠機

簡介:

可BAW/SAW工藝中的光阻去除,配備單腔雙腔兩種類型

核心優勢:

等離子電離與分解程度較高 ▏等離子處理后,再現性高

能在高氣壓下維持等離子體 ▏高壓源與離子發生器分離

干法刻蝕,無污染源 ▏透過蝶閥控壓、控溫

處理過程溫度低 ▏反應速度快,反應時間短

微波結和磁路可以兼容 ▏可滿足客戶要求 

等離子清洗機
SPV-150真空等離子清洗機

簡介:

軍工級焊接工藝,真空腔體密封性強,高密度等離子源,全方位均勻清洗;

適用于面積較大、形狀復雜的材料處理,可搭配雙路或多路工藝氣體氣體控制穩定,高密度等離子源,保證全方位均勻清洗。單次可處理多片/批次材料,處理效率高。根據行業需求可定制真空等離子流水線設備,全自動工作,減少人力成本。

接觸角測量儀
SDC-200S科研型接觸角測量儀

簡介:

功能齊全、拓展性能非常高的接觸角測量儀。

儀器構造:

接觸角測量儀主要由控制系統、注射系統、三軸移動樣品臺視頻采集系統、分析軟件五大部分組成,設備采用光學投影的原理。

USC干式超聲波除塵
USC顯示屏干式超聲波除塵

簡介:

3μm塵粒97%的清除率,6μm塵粒98%的清除率

超聲波干式除塵設備(Ultrasonic Dry Cleaner),通過鼓風機,給除塵頭的超聲波發生腔提供8-16Kpa的潔凈氣體,氣體通過超聲波發生器產生超聲波,利用超聲波傳播的能量及振動,使塵粒克服玻璃基板表面的粘附力,以拉升、滾動及滑動三種運動方式(單一或混合)從玻璃基板表面脫離,使得塵粒從玻璃基板表面分離出來。

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晟鼎精密
/致力于為全球用戶提供等離子表面處理與檢測整體解決方案

晟鼎半導體是晟鼎股份旗下分公司,總部晟鼎股份成立于2012年,是一家集研發、設計、生產、銷售及產業鏈服務為一體的國家級高新技術企業,致力于為廣大客戶提供表面性能處理以及檢測整體解決方案。研發團隊成員以多年從事工業自動化等領域的博士、碩士和學士為主,本科學歷以上占比50%。

核心產品有RTP快速退火爐、等離子去膠機、微波等離子清洗機、大氣等離子清洗機、寬幅等離子清洗機、真空等離子清洗機、接觸角測量儀、USC干式超聲波除塵清洗機、離子除靜電裝置等,目前已大批量用于半導體制造、3C消費電子、新能源、顯示等行業,獲得了全球知名制造商的高度認可...

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